Manipulation d’un objet microscopique sous MEB

Manipulation d’un objet microscopique sous microscope électronique à balayage (MEB). Pour ce faire, une plateforme a préalablement été installée dans le MEB, à la place du porte-échantillon. Elle possède une pointe de microscopie à force atomique (AFM) montée sur un actionneur inertiel, utilisée pour la manipulation. Grâce à des méthodes de suivi de chemin développées par l’Institut des systèmes intelligents et de robotique (ISIR), ce dispositif rend la manipulation intuitive grâce à l’instruction graphique. L’opérateur dessine simplement la trajectoire de la pointe sur l’interface de retour visuel, à l’aide de la souris de son ordinateur.