Plateforme micro et nanotechnologies : équipement multichambre robotisé de dépôts de films minces so

Plateforme micro et nanotechnologies : équipement multichambre robotisé de dépôts de films minces sous vide. L'assistant ingénieur introduit un substrat de silicium dans le sas de chargement de l'équipement. Tout l'équipement est sous vide secondaire. A l'intérieur des cinq chambres sont réalisés divers dépôts de matériaux ultrapurs pour la réalisation de composants microélectroniques, optoélectroniques, de micro et nanosystèmes.