20090001_0502
© Emmanuel PERRIN/LAAS/CNRS Images

Plateforme micro et nanotechnologies : équipement multichambre robotisé de dépôts de films minces so

Reference

20090001_0502

Production year

2009

Max. size

36.31 x 24.11 cm / 300 dpi

Caption

Plateforme micro et nanotechnologies : équipement multichambre robotisé de dépôts de films minces sous vide. L'assistant ingénieur introduit un substrat de silicium dans le sas de chargement de l'équipement. Tout l'équipement est sous vide secondaire. A l'intérieur des cinq chambres sont réalisés divers dépôts de matériaux ultrapurs pour la réalisation de composants microélectroniques, optoélectroniques, de micro et nanosystèmes.

CNRS Institute(s)

Regional office(s)

Scientific topics

CNRS Images,

Our work is guided by the way scientists question the world around them and we translate their research into images to help people to understand the world better and to awaken their curiosity and wonderment.