Production year
2009
© Emmanuel PERRIN/LAAS/CNRS Images
Reference
20090001_0508
Plateforme micro et nanotechnologies : écrans de commande d'un équipement de lithographie électroniq
Plateforme micro et nanotechnologies : écrans de commande d'un équipement de lithographie électronique. Utilisée pour la mise en forme de résines électrosensibles, la lithographie électronique permet des résolutions nanométriques. C'est une technique au cœur du développement des nanotechnologies. L'ingénieur pilote l'équipement à partir du pupitre de commande afin de reproduire avec le faisceau électronique des motifs générés à l'aide d'un logiciel de dessin.
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