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Reference
20110001_0854
Vue au microscope électronique à balayage environnemental d'une gravure chimique de GaSb (antimoniur
Vue au microscope électronique à balayage environnemental d'une gravure chimique de GaSb (antimoniure de gallium) avec de l'acide phosphorique, H3PO4+H2O2+H2O avec agitation. Les motifs d'apatites sont des SbPO4 (antimoine, phosphate) et GaPO4 (gallium, phosphate). L'objectif est la passivation de surface pour diminuer les courants de fuites des composants optoélectroniques. Les chercheurs tentent ainsi de réaliser des diodes lasers à émission par la tranche EEL (Edge emitting laser) dans la gamme 2 à 5 µm, pompées électriquement.
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