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Référence
20130001_1616
Positionnement d'un substrat de semiconducteur sur un porte-substrat
Positionnement d'un substrat de semiconducteur sur un porte-substrat. Il s'agit d'une étape technologique réalisée en salle blanche, après croissance de nanostructures semiconductrices sur un subtrat et avant l'étape de lithographie électronique. L'objectif est de mettre au point des composants nanophotoniques, pour obtenir de l'émission de lumière dans des dispositifs de plus en plus compacts.
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