Institut Franche-Comté Electronique Mécanique Thermique et Optique – Sciences et Technologies (FEMTO-ST)

Disque en fluorure de magnésium, matériau cristallin non-linéaire, dans lequel de la lumière est injectée de chaque côté (sens horaire et anti-horaire) au moyen de deux lentilles. Cette lumière tourne à l’intérieur du disque pendant une microseconde, soit environ 220 m à la vitesse de la lumière. En appliquant une rotation à l’ensemble du dispositif expérimental, les deux faisceaux en sortie se sont désynchronisés (effet Sagnac). La maîtrise et la quantification de cette désynchronisation…

Disque en fluorure de magnésium, matériau cristallin non-linéaire, dans lequel de la lumière est injectée de chaque côté (sens horaire et anti-horaire) au moyen de deux lentilles. Cette lumière tourne à l’intérieur du disque pendant une microseconde, soit environ 220 m à la vitesse de la lumière. En appliquant une rotation à l’ensemble du dispositif expérimental, les deux faisceaux en sortie se sont désynchronisés (effet Sagnac). La maîtrise et la quantification de cette désynchronisation…

Observation au microscope d’un disque en fluorure de magnésium, matériau cristallin non-linéaire, dans lequel de la lumière est injectée de chaque côté (sens horaire et anti-horaire) au moyen de deux lentilles. Cette lumière tourne à l’intérieur du disque pendant une microseconde, soit environ 220 m à la vitesse de la lumière. En appliquant une rotation à l’ensemble du dispositif expérimental, les deux faisceaux en sortie se sont désynchronisés (effet Sagnac). La maîtrise et la quantification…

Oscillateur paramétrique optique (OPO), une source de lumière cohérente et monochromatique. La lumière émise par un OPO peut s'étendre de l'ultra-violet au moyen infrarouge, de façon continue ou selon des impulsions de durée variable. La couleur émise représente la fluorescence paramétrique du cristal à l'intérieur de l'OPO. Elle varie en fonction de l'orientation de ce cristal. Un OPO est principalement utilisé pour produire des longueurs d'onde, là où les lasers font défaut. Il trouve…

Oscillateur paramétrique optique (OPO), une source de lumière cohérente et monochromatique. La lumière émise par un OPO peut s'étendre de l'ultra-violet au moyen infrarouge, de façon continue ou selon des impulsions de durée variable. La couleur émise représente la fluorescence paramétrique du cristal à l'intérieur de l'OPO. Elle varie en fonction de l'orientation de ce cristal. Un OPO est principalement utilisé pour produire des longueurs d'onde, là où les lasers font défaut. Il trouve…

Faisceau laser émettant à la longueur d'onde de 480 nanomètres et guidé dans une microfibre optique, une fibre de verre effilée, 50 fois plus fine qu'un cheveu. En injectant un faisceau laser dans cette microfibre, les chercheurs ont découvert un nouveau mode de diffusion de la lumière impliquant des ondes acoustiques de surface. Sur son trajet, la lumière fait vibrer le matériau et le déplace de quelques nanomètres. Cette déformation se manifeste par une onde acoustique qui se déplace à la…

Faisceau laser rouge (hélium-néon) passant dans une microfibre optique, une fibre de verre effilée 50 fois plus fine qu'un cheveu, encapsulée dans un système étanche, pour éviter qu'elle ne s'oxyde ou ne casse. En injectant un faisceau laser dans cette microfibre, les chercheurs ont découvert un nouveau mode de diffusion de la lumière impliquant des ondes acoustiques de surface. Sur son trajet, la lumière fait vibrer le matériau et le déplace de quelques nanomètres. Cette déformation se…

Faisceau laser émettant à la longueur d'onde de 500 nanomètres et guidé dans une microfibre optique, une fibre de verre effilée, 50 fois plus fine qu'un cheveu. En injectant un faisceau laser dans cette microfibre, les chercheurs ont découvert un nouveau mode de diffusion de la lumière impliquant des ondes acoustiques de surface. Sur son trajet, la lumière fait vibrer le matériau et le déplace de quelques nanomètres. Cette déformation se manifeste par une onde acoustique qui se déplace à la…

Faisceau laser émettant à la longueur d'onde de 600 nanomètres et guidé dans une microfibre optique, une fibre de verre effilée, 50 fois plus fine qu'un cheveu. En injectant un faisceau laser dans cette microfibre, les chercheurs ont découvert un nouveau mode de diffusion de la lumière impliquant des ondes acoustiques de surface. Sur son trajet, la lumière fait vibrer le matériau et le déplace de quelques nanomètres. Cette déformation se manifeste par une onde acoustique qui se déplace à la…

Faisceau laser émettant à la longueur d'onde de 530 nanomètres et guidé dans une microfibre optique, une fibre de verre effilée, 50 fois plus fine qu'un cheveu. En injectant un faisceau laser dans cette microfibre, les chercheurs ont découvert un nouveau mode de diffusion de la lumière impliquant des ondes acoustiques de surface. Sur son trajet, la lumière fait vibrer le matériau et le déplace de quelques nanomètres. Cette déformation se manifeste par une onde acoustique qui se déplace à la…

Faisceau laser rouge (hélium-néon) passant dans une microfibre optique, une fibre de verre effilée 50 fois plus fine qu'un cheveu, encapsulée dans un système étanche, pour éviter qu'elle ne s'oxyde ou ne casse. En injectant un faisceau laser dans cette microfibre, les chercheurs ont découvert un nouveau mode de diffusion de la lumière impliquant des ondes acoustiques de surface. Sur son trajet, la lumière fait vibrer le matériau et le déplace de quelques nanomètres. Cette déformation se…

Conception avec un logiciel dédié, du design contenant des zones de résine électrosensible à insoler. L'ingénieur règle également les paramètrages de l'exposition de la résine et ceux de la colonne. Le wafer enduit de résine électrosensible sera placé dans une station de lithographie par faisceau d'électrons (Ebeam). L'ensemble sera bombardé par un faisceau électronique de haute énergie, selon un motif préalablement déterminé. Après développement dans une solution appropriée, la résine insolée…

Sas de la salle blanche MIMENTO (MIcrofabrication pour la MEcanique, les Nanosciences, la Thermique et l'Optique) du laboratoire FEMTO-ST.

Un ingénieur pilote un Dual Beam, grâce à un panneau de 4 écrans et un panneau de contrôle, permettant d'ajuster précisément les paramètres des colonnes électronique et ionique. Le Dual Beam est un bâti composé de deux faisceaux : un microscope électronique à balayage (MEB) et un focused ion beam (FIB) ou faisceau d'ions focalisé. Ce bâti permet de réaliser des images et de graver la matière à haute résolution, les résolutions respectives étant 1 nm et 4 nm. Les principales applications sont la…

Zone de lithographie de la salle blanche MIMENTO (MIcrofabrication pour la MEcanique, les Nanosciences, la Thermique et l'Optique) du laboratoire FEMTO-ST. Ici, sont réalisés l'enduction et le recuit des résines photo et électrosensibles, le développement après insolation et le nettoyage (solvants et acides).

Réglage des paramètres permettant de réaliser une image au MEB (Microscope électronique à balayage), en salle blanche. Cet appareil permet de caractériser les échantillons en cours ou en fin de process. Il permet également d'obtenir des images topographiques d'une résolution maximale de 10 nm et de réaliser une analyse élémentaire grâce à l'EDS (Energy dispersive spectroscopy).

Bâti de gravure de silicium DRIE (Deep reactive ion etching), permettant de faire de la gravure profonde, en salle blanche. Ici, un wafer est mis dans le sas de chargement.

Zone de lithographie de la salle blanche MIMENTO (MIcrofabrication pour la MEcanique, les Nanosciences, la Thermique et l'Optique) du laboratoire FEMTO-ST. Ici, sont réalisés l'enduction et le recuit des résines photo et électrosensibles, le développement après insolation et le nettoyage (solvants et acides). Au fond, un aligneur UV permet d'insoler les résines photosensibles.

Réglage des paramètres permettant de réaliser une image au MEB (Microscope électronique à balayage). Cet appareil permet de caractériser les échantillons en cours ou en fin de process. Il permet également d'obtenir des images topographiques d'une résolution maximale de 10 nm et de réaliser une analyse élémentaire grâce à l'EDS (Energy dispersive spectroscopy).

Dual Beam, bâti composé de deux faisceaux : un microscope électronique à balayage (MEB) et un focused ion beam (FIB) ou faisceau d'ions focalisé. Il permet de réaliser des images et de graver la matière à haute résolution, les résolutions respectives étant 1 nm et 4 nm. Les principales applications sont la caractérisation haute résolution d'échantillons et la gravure localisée, notamment pour des applications en nanophotonique. Qu'il soit placé derrière une paroi en plastique et sous un plafond…

Zone de dépôts et caractérisation de la ligne dédiée à la microfabrication de composants piezoélectriques de type SAW (Surface acoustic waves). Cette microfabrication est réalisée dans les salles blanches de l'Institut FEMTO-ST. L'une des originalités du projet consiste à partager cette ligne entre la recherche et l'industrie. Cette plateforme technologique sera unique en France et se positionne donc dans un schéma de concurrence mondiale.

Pistes d'enduction automatiques de la résine photosensible. Elles font partie des équipements de la ligne dédiée à la microfabrication de composants piezoélectriques de type SAW (Surface acoustic waves). Cette microfabrication est réalisée dans les salles blanches de l'Institut FEMTO-ST. L'une des originalités du projet consiste à partager cette ligne entre la recherche et l'industrie. Cette plateforme technologique sera unique en France et se positionne donc dans un schéma de concurrence…

Réglage des paramètres permettant de réaliser une image au MEB (Microscope électronique à balayage), en salle blanche. Cet appareil permet de caractériser les échantillons en cours ou en fin de process. Il permet également d'obtenir des images topographiques d'une résolution maximale de 10 nm et de réaliser une analyse élémentaire grâce à l'EDS (Energy dispersive spectroscopy).

Microscope optique en salle blanche.

Réglage des paramètres de gravure en salle blanche d'un bâti de gravure DRIE (Deep reactive ion etching). Cette machine permet de faire de la gravure profonde sur silicium.

Echantillon placé à l'intérieur d'un Dual Beam, un bâti composé de deux faisceaux : microscope électronique à balayage (MEB) et focused ion beam (FIB) ou faisceau d'ions focalisé. Il permet de réaliser des images et de graver la matière à haute résolution, les résolutions respectives étant 1 nm et 4 nm. Les principales applications sont la caractérisation haute résolution d'échantillons et la gravure localisée, notamment pour des applications en nanophotonique.

Zone de lithographie de la salle blanche MIMENTO (MIcrofabrication pour la MEcanique, les Nanosciences, la Thermique et l'Optique) du laboratoire FEMTO-ST. Ici, sont réalisés l'enduction et le recuit des résines photo et électrosensibles, le développement après insolation et le nettoyage (solvants et acides).

Pistes d'enduction automatiques de la résine photosensible. Elles font partie des équipements de la ligne dédiée à la microfabrication de composants piezoélectriques de type SAW (Surface acoustic waves). Cette microfabrication est réalisée dans les salles blanches de l'Institut FEMTO-ST. L'une des originalités du projet consiste à partager cette ligne entre la recherche et l'industrie. Cette plateforme technologique sera unique en France et se positionne donc dans un schéma de concurrence…

Un ingénieur commande le plafond soufflant disposé au dessus du Dual Beam, visible au fond. Ce dispositif permet de garantir localement un faible niveau d'empoussièrement (classe 1000). Le Dual Beam est un bâti composé de deux faisceaux : un microscope électronique à balayage (MEB) et un focused ion beam (FIB) ou faisceau d'ions focalisé. Il permet de réaliser des images et de graver la matière à haute résolution, les résolutions respectives étant 1 nm et 4 nm. Les principales applications sont…

Porte-échantillon monté à l'intérieur de la chambre d'un MEB (Microscope électronique à balayage). Cet appareil permet de caractériser les échantillons en cours ou en fin de process. Il permet également d'obtenir des images topographiques d'une résolution maximale de 10 nm et de réaliser une analyse élémentaire grâce à l'EDS (Energy dispersive spectroscopy).

Dual Beam, bâti composé de deux faisceaux : un microscope électronique à balayage (MEB) et un focused ion beam (FIB) ou faisceau d'ions focalisé. Il permet de réaliser des images et de graver la matière à haute résolution, les résolutions respectives étant 1 nm et 4 nm. Les principales applications sont la caractérisation haute résolution d'échantillons et la gravure localisée, notamment pour des applications en nanophotonique. Qu'il soit placé derrière une paroi en plastique et sous un plafond…

MEB (Microscope électronique à balayage) permettant de caractériser les échantillons en cours ou en fin de process, en salle blanche. Il permet d'obtenir des images topographiques d'une résolution maximale de 10 nm et de réaliser une analyse élémentaire grâce à l'EDS (Energy dispersive spectroscopy).

Un wafer enduit de résine électrosensible va être placé dans une station de lithographie par faisceau d'électrons (Ebeam). Cette station permet de nanostructurer des résines électrosensibles. La résine déposée sur un substrat est bombardée par un faisceau électronique de haute énergie, selon un motif préalablement déterminé. Après développement dans une solution appropriée, cette résine insolée va se dissoudre (cas d'une résine positive). Les applications de cette machine sont principalement la…

Bâti de gravure de silicium DRIE (Deep reactive ion etching), permettant de faire de la gravure profonde, en salle blanche. Ici, un wafer est mis dans le sas de chargement.

Zone de lithographie de la salle blanche MIMENTO (MIcrofabrication pour la MEcanique, les Nanosciences, la Thermique et l'Optique) du laboratoire FEMTO-ST. Ici, sont réalisés l'enduction et le recuit des résines photo et électrosensibles, le développement après insolation et le nettoyage (solvants et acides).

Stepper pour la lithographie haute résolution par projection. Il fait partie des équipements de la ligne dédiée à la microfabrication de composants piezoélectriques de type SAW (Surface acoustic waves). Cette microfabrication est réalisée dans les salles blanches de l'Institut FEMTO-ST. L'une des originalités du projet consiste à partager cette ligne entre la recherche et l'industrie. Cette plateforme technologique sera unique en France et se positionne donc dans un schéma de concurrence…