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20120001_1821

© Cyril FRESILLON/CNRS Images

Référence

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Réglage des paramètres de gravure en salle blanche d'un bâti de gravure DRIE (Deep reactive ion etch

Réglage des paramètres de gravure en salle blanche d'un bâti de gravure DRIE (Deep reactive ion etching). Cette machine permet de faire de la gravure profonde sur silicium.

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Issues du même reportage : L'Institut Franche-Comté électronique mécanique thermique et optique - sciences et technologie (FEMTO-ST)

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