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20120001_1805

© Cyril FRESILLON/CNRS Images

Référence

20120001_1805

Dual Beam, bâti composé de deux faisceaux : un microscope électronique à balayage (MEB) et un focuse

Dual Beam, bâti composé de deux faisceaux : un microscope électronique à balayage (MEB) et un focused ion beam (FIB) ou faisceau d'ions focalisé. Il permet de réaliser des images et de graver la matière à haute résolution, les résolutions respectives étant 1 nm et 4 nm. Les principales applications sont la caractérisation haute résolution d'échantillons et la gravure localisée, notamment pour des applications en nanophotonique. Qu'il soit placé derrière une paroi en plastique et sous un plafond soufflant permet de garantir localement un faible niveau d'empoussièrement (classe 1000).

Institut(s)

Délégation(s)

Thématiques scientifiques

Issues du même reportage : L'Institut Franche-Comté électronique mécanique thermique et optique - sciences et technologie (FEMTO-ST)

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