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Référence
20120001_1811
Zone de lithographie de la salle blanche MIMENTO (MIcrofabrication pour la MEcanique, les Nanoscienc
Zone de lithographie de la salle blanche MIMENTO (MIcrofabrication pour la MEcanique, les Nanosciences, la Thermique et l'Optique) du laboratoire FEMTO-ST. Ici, sont réalisés l'enduction et le recuit des résines photo et électrosensibles, le développement après insolation et le nettoyage (solvants et acides). Au fond, un aligneur UV permet d'insoler les résines photosensibles.
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