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20120001_1811

© Cyril FRESILLON/CNRS Images

Référence

20120001_1811

Zone de lithographie de la salle blanche MIMENTO (MIcrofabrication pour la MEcanique, les Nanoscienc

Zone de lithographie de la salle blanche MIMENTO (MIcrofabrication pour la MEcanique, les Nanosciences, la Thermique et l'Optique) du laboratoire FEMTO-ST. Ici, sont réalisés l'enduction et le recuit des résines photo et électrosensibles, le développement après insolation et le nettoyage (solvants et acides). Au fond, un aligneur UV permet d'insoler les résines photosensibles.

Institut(s)

Délégation(s)

Thématiques scientifiques

Issues du même reportage : L'Institut Franche-Comté électronique mécanique thermique et optique - sciences et technologie (FEMTO-ST)

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