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20120001_1811

© Cyril FRESILLON/CNRS Images

Zone de lithographie de la salle blanche MIMENTO (MIcrofabrication pour la MEcanique, les Nanoscienc

Référence

20120001_1811

Année de production

2012

Taille maximale

41.72 x 27.77 cm / 300 dpi

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Zone de lithographie de la salle blanche MIMENTO (MIcrofabrication pour la MEcanique, les Nanosciences, la Thermique et l'Optique) du laboratoire FEMTO-ST. Ici, sont réalisés l'enduction et le recuit des résines photo et électrosensibles, le développement après insolation et le nettoyage (solvants et acides). Au fond, un aligneur UV permet d'insoler les résines photosensibles.

Laboratoire(s)

UMR6174 - Institut Franche-Comté électronique mécanique thermique et optique - sciences et technologies (FEMTO-ST)Site du laboratoire Voir la galerie du laboratoire

Institut(s)

Délégation(s)

Thématiques scientifiques

Physique

Mots-clés

Gant de protection
Microtechnologie
Nanotechnologie
Photolithographie
Polymère
Résine synthétique
Salle blanche

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