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20120001_1815

© Cyril FRESILLON/CNRS Images

Référence

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MEB (Microscope électronique à balayage) permettant de caractériser les échantillons en cours ou en

MEB (Microscope électronique à balayage) permettant de caractériser les échantillons en cours ou en fin de process, en salle blanche. Il permet d'obtenir des images topographiques d'une résolution maximale de 10 nm et de réaliser une analyse élémentaire grâce à l'EDS (Energy dispersive spectroscopy).

Institut(s)

Délégation(s)

Thématiques scientifiques

Issues du même reportage : L'Institut Franche-Comté électronique mécanique thermique et optique - sciences et technologie (FEMTO-ST)

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