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Reference
20120001_1815
MEB (Microscope électronique à balayage) permettant de caractériser les échantillons en cours ou en
MEB (Microscope électronique à balayage) permettant de caractériser les échantillons en cours ou en fin de process, en salle blanche. Il permet d'obtenir des images topographiques d'une résolution maximale de 10 nm et de réaliser une analyse élémentaire grâce à l'EDS (Energy dispersive spectroscopy).
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