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Reference
20120001_1802
Un ingénieur commande le plafond soufflant disposé au dessus du Dual Beam, visible au fond. Ce dispo
Un ingénieur commande le plafond soufflant disposé au dessus du Dual Beam, visible au fond. Ce dispositif permet de garantir localement un faible niveau d'empoussièrement (classe 1000). Le Dual Beam est un bâti composé de deux faisceaux : un microscope électronique à balayage (MEB) et un focused ion beam (FIB) ou faisceau d'ions focalisé. Il permet de réaliser des images et de graver la matière à haute résolution, les résolutions respectives étant 1 nm et 4 nm. Les principales applications sont la caractérisation haute résolution d'échantillons et la gravure localisée, notamment pour des applications en nanophotonique.
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