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Reference
20120001_1803
Un ingénieur pilote un Dual Beam, grâce à un panneau de 4 écrans et un panneau de contrôle, permetta
Un ingénieur pilote un Dual Beam, grâce à un panneau de 4 écrans et un panneau de contrôle, permettant d'ajuster précisément les paramètres des colonnes électronique et ionique. Le Dual Beam est un bâti composé de deux faisceaux : un microscope électronique à balayage (MEB) et un focused ion beam (FIB) ou faisceau d'ions focalisé. Ce bâti permet de réaliser des images et de graver la matière à haute résolution, les résolutions respectives étant 1 nm et 4 nm. Les principales applications sont la caractérisation haute résolution d'échantillons et la gravure localisée, notamment pour des applications en nanophotonique.
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