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20120001_1803

© Cyril FRESILLON/CNRS Images

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Un ingénieur pilote un Dual Beam, grâce à un panneau de 4 écrans et un panneau de contrôle, permetta

Un ingénieur pilote un Dual Beam, grâce à un panneau de 4 écrans et un panneau de contrôle, permettant d'ajuster précisément les paramètres des colonnes électronique et ionique. Le Dual Beam est un bâti composé de deux faisceaux : un microscope électronique à balayage (MEB) et un focused ion beam (FIB) ou faisceau d'ions focalisé. Ce bâti permet de réaliser des images et de graver la matière à haute résolution, les résolutions respectives étant 1 nm et 4 nm. Les principales applications sont la caractérisation haute résolution d'échantillons et la gravure localisée, notamment pour des applications en nanophotonique.

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From the same photo report: The FEMTO-ST Institute Franche-Comté Electronics Mechanics Thermal Science and Optics – Sciences and Technologies

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