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Référence
20120001_1816
Réglage des paramètres permettant de réaliser une image au MEB (Microscope électronique à balayage),
Réglage des paramètres permettant de réaliser une image au MEB (Microscope électronique à balayage), en salle blanche. Cet appareil permet de caractériser les échantillons en cours ou en fin de process. Il permet également d'obtenir des images topographiques d'une résolution maximale de 10 nm et de réaliser une analyse élémentaire grâce à l'EDS (Energy dispersive spectroscopy).
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