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Reference
20110001_0959
Chargement manuel d'un substrat, sur un aligneur de masques utilisé dans les processus de photolitho
Chargement manuel d'un substrat, sur un aligneur de masques utilisé dans les processus de photolithographie de définition de motifs, avec une résolution micronique. Les microcomposants sont réalisés par un empilement de couches de divers matériaux. Chaque couche est mise en forme par des techniques de lithographie, dépôts et gravure. Ces recherches sont effectuées au sein d'une plateforme de micro et nanotechnologies appartenant au réseau Renatech.
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