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Reference
20110001_0967
Substrats de silicium et de pyrex après la réalisation de dépôts électrolytiques. Les microcomposant
Substrats de silicium et de pyrex après la réalisation de dépôts électrolytiques. Les microcomposants sont réalisés par un empilement de couches de divers matériaux. Chaque couche est mise en forme par des techniques de lithographie, dépôts et gravure. Ces recherches sont effectuées au sein d'une plateforme de micro et nanotechnologies appartenant au réseau Renatech.
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