Zone de chimie permettant la mise en ½uvre de nettoyages, comme ici, de gravures, de traitements de

Zone de chimie permettant la mise en œuvre de nettoyages, comme ici, de gravures, de traitements de matériaux, dans des hottes adaptées et sécurisées. Les microcomposants sont réalisés par un empilement de couches de divers matériaux. Chaque couche est mise en forme par des techniques de lithographie, dépôts et gravure. Ces recherches sont effectuées au sein d'une plateforme de micro et nanotechnologies appartenant au réseau Renatech.