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Institut des NanoSciences de Paris 1

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Manipulation d'un évaporateur situé dans une salle blanche. Il permet de déposer des couches minces de métaux sur tout type d'échantillon. Le matériau à déposer est chauffé jusqu'à ce qu'il se retrouve sous forme gazeuse. Ces vapeurs viennent alors se condenser sur l'échantillon pour y former une couche mince. L'objectif est d'obtenir une couche homogène d'épaisseur contrôlée.

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Manipulation d'un évaporateur situé dans une salle blanche. Il permet de déposer des couches minces
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Microscope optique utilisé notamment pour caractériser des structures obtenues par photolithographie dans une salle blanche. Cela permet de vérifier que les structures réalisées répondent bien aux exigences de dimensions des motifs, de positionnement et de netteté des contours. Sur l'écran, on visualise une structure en cours d'analyse. Il s'agit de contacts électriques.

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Microscope optique utilisé notamment pour caractériser des structures obtenues par photolithographie
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Tournette dans une salle blanche. Ce dispositif permet de réaliser des couches minces homogènes de résines ou de liquides variés par spin coating (enduction centrifuge), tout en contrôlant l'épaisseur de la couche déposée. Ici, c'est une résine photosensible qui est déposée. La couche mince ainsi réalisée va être insolée par photolithographie. L'objectif est de réaliser des motifs en surface pour ensuite y déposer un matériau ou effectuer une gravure.

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Tournette dans une salle blanche. Ce dispositif permet de réaliser des couches minces homogènes de r
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Programmation d'une machine de photolithographie par écriture directe située dans une salle blanche : conversion du motif en un format lisible par l'appareil, positionnement à la surface de l'échantillon, réglage des paramètres d'exposition... Les ordinateurs permettent de contrôler intégralement la machine et les diverses opérations à exécuter. Le dispositif de photolithographie permet de réaliser des structures de résolution allant jusqu'à 0,6 µm à la surface d'échantillons au moyen d'un…

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Programmation d'une machine de photolithographie par écriture directe située dans une salle blanche
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Tournette permettant de réaliser en salle blanche des couches minces homogènes de résines ou de liquides variés par spin coating (enduction centrifuge), tout en contrôlant l'épaisseur de la couche déposée. La couche mince ainsi réalisée va être insolée par photolithographie. L'objectif est de réaliser des motifs en surface pour ensuite y déposer un matériau ou effectuer une gravure.

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Tournette permettant de réaliser en salle blanche des couches minces homogènes de résines ou de liqu
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Installation d'une pastille d'aluminium dans un évaporateur thermique situé dans une salle blanche. Cet évaporateur permet de déposer des couches minces de métaux sur tout type d'échantillon. Le matériau à déposer est chauffé jusqu'à ce qu'il se retrouve sous forme gazeuse. Ces vapeurs viennent alors se condenser sur l'échantillon pour y former une couche mince. L'objectif est d'obtenir une couche homogène d'épaisseur contrôlée.

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Installation d'une pastille d'aluminium dans un évaporateur thermique situé dans une salle blanche.
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Utilisation d'un évaporateur thermique situé dans une salle blanche. Il permet de déposer des couches minces de métaux sur tout type d'échantillon. Le matériau à déposer est chauffé jusqu'à ce qu'il se retrouve sous forme gazeuse. Ces vapeurs viennent alors se condenser sur l'échantillon pour y former une couche mince. L'objectif est d'obtenir une couche homogène d'épaisseur contrôlée.

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Utilisation d'un évaporateur thermique situé dans une salle blanche. Il permet de déposer des couche
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Dans une salle blanche, aligneur de masque permettant d'insoler localement des résines à travers un masque. Le motif du masque est transféré dans la résine photosensible présente à la surface d'un échantillon. L'endroit où ce motif sera transféré sur l'échantillon est ainsi contrôlé très précisément.

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Dans une salle blanche, aligneur de masque permettant d'insoler localement des résines à travers un
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Installation d'une pastille métallique dans un évaporateur thermique situé dans une salle blanche. Cet évaporateur permet de déposer des couches minces de métaux sur tout type d'échantillon. Le matériau à déposer est chauffé jusqu'à ce qu'il se retrouve sous forme gazeuse. Ces vapeurs viennent alors se condenser sur l'échantillon pour y former une couche mince. L'objectif est d'obtenir une couche homogène d'épaisseur contrôlée.

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Installation d'une pastille métallique dans un évaporateur thermique situé dans une salle blanche. C
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Dans une salle blanche, profilomètre permettant de mesurer l'épaisseur de couches minces ou de motifs à la surface d'échantillons. Sur l'écran, on visualise la pointe du profilomètre en train de scanner la surface d'un échantillon. Elle suit la topographie de l'échantillon et l'information est ensuite retranscrite sur l'écran. L'utilisateur peut alors analyser les données.

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Dans une salle blanche, profilomètre permettant de mesurer l'épaisseur de couches minces ou de motif
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Dans une salle blanche, aligneur de masque permettant d'insoler localement des résines à travers un masque. Le motif du masque est transféré dans la résine photosensible présente à la surface d'un échantillon. L'endroit où ce motif sera transféré sur l'échantillon est ainsi contrôlé très précisément.

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Dans une salle blanche, aligneur de masque permettant d'insoler localement des résines à travers un
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Tournette permettant de réaliser en salle blanche des couches minces homogènes de résines ou de liquides variés par spin coating (enduction centrifuge), tout en contrôlant l'épaisseur de la couche déposée. Ici, c'est une résine photosensible qui est déposée. La couche mince ainsi réalisée va être insolée par photolithographie. L'objectif est de réaliser des motifs en surface pour ensuite y déposer un matériau ou effectuer une gravure.

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Tournette permettant de réaliser en salle blanche des couches minces homogènes de résines ou de liqu
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Dans une salle blanche, aligneur de masque permettant d'insoler localement des résines à travers un masque. Le motif du masque est transféré dans la résine photosensible présente à la surface d'un échantillon. L'endroit où ce motif sera transféré sur l'échantillon est ainsi contrôlé très précisément.

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Dans une salle blanche, aligneur de masque permettant d'insoler localement des résines à travers un
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Dans une salle blanche, aligneur de masque permettant d'insoler localement des résines à travers un masque. Le motif du masque est transféré dans la résine photosensible présente à la surface d'un échantillon. L'endroit où ce motif sera transféré sur l'échantillon est ainsi contrôlé très précisément.

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Dans une salle blanche, aligneur de masque permettant d'insoler localement des résines à travers un
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Vue de l'intérieur d'un évaporateur thermique situé dans une salle blanche. Il permet de déposer des couches minces de métaux sur tout type d'échantillon. Le matériau à déposer est chauffé jusqu'à ce qu'il se retrouve sous forme gazeuse. Ces vapeurs viennent alors se condenser sur l'échantillon pour y former une couche mince. L'objectif est d'obtenir une couche homogène d'épaisseur contrôlée.

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Vue de l'intérieur d'un évaporateur thermique situé dans une salle blanche. Il permet de déposer des
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Vue de l'intérieur d'un évaporateur thermique situé dans une salle blanche. Il permet de déposer des couches minces de métaux sur tout type d'échantillon. Le matériau à déposer est chauffé jusqu'à ce qu'il se retrouve sous forme gazeuse. Ces vapeurs viennent alors se condenser sur l'échantillon pour y former une couche mince. L'objectif est d'obtenir une couche homogène d'épaisseur contrôlée.

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Vue de l'intérieur d'un évaporateur thermique situé dans une salle blanche. Il permet de déposer des
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Dispositif de photolithographie par écriture directe situé dans une salle blanche. Cet appareil permet de réaliser des structures de résolution allant jusqu'à 0,6 µm à la surface d'échantillons, par photolithographie, au moyen d'un laser UV et d'une platine interférométrique motorisée. L'objectif est de créer des structures de dimensions micrométriques à la surface d'échantillons (circuits électroniques, réseaux pour la microfluidique, masques de photolithographie...).

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Dispositif de photolithographie par écriture directe situé dans une salle blanche. Cet appareil perm
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Evaporateur thermique situé dans une salle blanche. Il permet de déposer des couches minces de métaux sur tout type d'échantillon. Le matériau à déposer est chauffé jusqu'à ce qu'il se retrouve sous forme gazeuse. Ces vapeurs viennent alors se condenser sur l'échantillon pour y former une couche mince. L'objectif est d'obtenir une couche homogène d'épaisseur contrôlée.

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Evaporateur thermique situé dans une salle blanche. Il permet de déposer des couches minces de métau
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Changement de la tête d'écriture d'un dispositif de photolithographie par écriture directe situé dans une salle blanche. Cet appareil permet de réaliser des structures de résolution allant jusqu'à 0,6 µm à la surface d'échantillons, par photolithographie, au moyen d'un laser UV et d'une platine interférométrique motorisée. L'objectif est de créer des structures de dimensions micrométriques à la surface d'échantillons (circuits électroniques, réseaux pour la microfluidique, masques de…

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Changement de la tête d'écriture d'un dispositif de photolithographie par écriture directe situé dan
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Installation d'une pastille métallique dans un évaporateur thermique situé dans une salle blanche. Cet évaporateur permet de déposer des couches minces de métaux sur tout type d'échantillon. Le matériau à déposer est chauffé jusqu'à ce qu'il se retrouve sous forme gazeuse. Ces vapeurs viennent alors se condenser sur l'échantillon pour y former une couche mince. L'objectif est d'obtenir une couche homogène d'épaisseur contrôlée.

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Installation d'une pastille métallique dans un évaporateur thermique situé dans une salle blanche. C
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Pastilles d'or servant au dépôt de couches minces à la surface de tout type d'échantillon. Ce dépôt est réalisé en salle blanche. L'or présente des caractéristiques physiques intéressantes notamment sa bonne conductivité électrique et thermique et son inaltérabilité. En général, l'or est utilisé pour former des contacts électriques à la surface des échantillons sur lesquels il est déposé. Ces contacts permettent par la suite d'étudier les échantillons en les excitant électriquement, par exemple.

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Pastilles d'or servant au dépôt de couches minces à la surface de tout type d'échantillon. Ce dépôt
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Pastilles d'or servant au dépôt de couches minces à la surface de tout type d'échantillon. Ce dépôt est réalisé en salle blanche. L'or présente des caractéristiques physiques intéressantes notamment sa bonne conductivité électrique et thermique et son inaltérabilité. En général, l'or est utilisé pour former des contacts électriques à la surface des échantillons sur lesquels il est déposé. Ces contacts permettent par la suite d'étudier les échantillons en les excitant électriquement, par exemple.

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Pastilles d'or servant au dépôt de couches minces à la surface de tout type d'échantillon. Ce dépôt

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