20130001_0764
© Cyril FRESILLON/CNRS Photothèque

Chargement d'un substrat, une galette de silicum, dans un masqueur à LED UV

Référence

20130001_0764

Année de production

2013

Taille maximale

41.72 x 27.77 cm / 300 dpi

Légende

Chargement d'un substrat, une galette de silicum, dans un masqueur à LED UV et positionnement du masque en verre. Cet appareil est installé dans une salle blanche. Il est utilisé dans le cadre d'un procédé de lithographie laser, pour une première étape simple de lithographie pleine plaque, par exemple : des croix de repérage, des réseaux d'électrodes milli- ou micrométriques identiques.

Institut(s)

Délégation(s)

Thématiques scientifiques

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