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20110001_0426

© Cyril FRESILLON/CNRS Images

Référence

20110001_0426

Tournette permettant de réaliser en salle blanche des couches minces homogènes de résines ou de liqu

Tournette permettant de réaliser en salle blanche des couches minces homogènes de résines ou de liquides variés par spin coating (enduction centrifuge), tout en contrôlant l'épaisseur de la couche déposée. Ici, c'est une résine photosensible qui est déposée. La couche mince ainsi réalisée va être insolée par photolithographie. L'objectif est de réaliser des motifs en surface pour ensuite y déposer un matériau ou effectuer une gravure.

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