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Référence
20110001_0429
Microscope optique utilisé notamment pour caractériser des structures obtenues par photolithographie
Microscope optique utilisé notamment pour caractériser des structures obtenues par photolithographie dans une salle blanche. Cela permet de vérifier que les structures réalisées répondent bien aux exigences de dimensions des motifs, de positionnement et de netteté des contours. Sur l'écran, on visualise une structure en cours d'analyse. Il s'agit de contacts électriques.
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