Installation d’une plateforme robotique avec pointe AFM dans un MEB

Installation d’une plateforme dans un microscope électronique à balayage (MEB), où elle remplace le porte-échantillon et permet d’utiliser une sonde de microscopie à force atomique (AFM). A la différence du MEB, qui réalise une topographie de la surface de l’objet grâce à un faisceau d’électrons, l’AFM balaye sa surface à l’aide d’une sonde. Lors de l’analyse AFM, ce robot gagne des degrés de liberté en translation-rotation grâce à une plateforme pivotante pour installer l’échantillon et à un micro-levier actionnant la pointe AFM. Cette dernière permet également de manipuler des objets microscopiques sous MEB.