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Référence
20120001_0083
Vue de profil, en microscopie électronique à balayage (MEB), d'un réseau de micropiliers de silicium
Vue de profil, en microscopie électronique à balayage (MEB), d'un réseau de micropiliers de silicium surmontés d'une vasque. La structure est obtenue en usinant un substrat de silicium par un procédé de gravure profonde.
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