Microscope électronique en transmission environnemental Thermo Fischer NanoMAX

Microscope électronique en transmission environnemental Thermo Fischer NanoMAX, porté par le LPICM (Laboratoire de Physique des Interfaces et Couches) et le C2N (Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies). Ici NanoMAX est équipé de la source de radicaux gazeux. Ce microscope est l'un des trois équipements de l'Equipex TEMPOS (Transmission Electron Microscopy at Palaiseau Orsay Saclay), il est plus particulièrement dédié au volet "croissance in situ". Il s'agit d'un microscope électronique en transmission environnemental (ETEM) de ultra-haute résolution spatiale dans lequel la matière est apportée atome par atome ou molécule par molécule sous la forme de faisceaux : soit par jets moléculaires (MBE) soit par faisceaux de radicaux gazeux (CVD assistée par radicaux). Ce microscope est équipé d'un système de pompage à trois étages et d'une caméra Gatan K2 IS à détection directe ultra-sensible et ultra-rapide (jusqu'à 1600 images/s). NanoMAX est le premier microscope permettant d'apporter de cette façon la matière in situ par faisceaux et d'observer et caractériser in situ à l'échelle atomique la croissance de nano-objets et nano-cristaux (nanofils de semi-conducteurs, nanotubes de carbone). Ce microscope permet également de réaliser in situ des dépôts CVD conventionnels ou avec des précurseurs liquides.