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Référence
20110001_0952
Partie centrale du système automatisé de dispense et développement de résines photosensibles utilisé
Partie centrale du système automatisé de dispense et développement de résines photosensibles utilisées dans les processus de photolithographie. Les microcomposants sont réalisés par un empilement de couches de divers matériaux. Chaque couche est mise en forme par des techniques de lithographie, dépôts et gravure. Ces recherches sont effectuées au sein d'une plateforme de micro et nanotechnologies appartenant au réseau Renatech.
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