20090001_0503

© Emmanuel PERRIN/LAAS/CNRS Images

Référence

20090001_0503

Plateforme micro et nanotechnologies : équipement multichambre robotisé de dépôts de films minces so

Plateforme micro et nanotechnologies : équipement multichambre robotisé de dépôts de films minces sous vide. Un substrat de silicium a été introduit dans le sas de chargement de l'équipement. Tout l'équipement est sous vide secondaire. A l'intérieur des cinq chambres sont réalisés divers dépôts de matériaux ultrapurs pour la réalisation de composants microélectroniques, optoélectroniques, de micro et nanosystèmes.

Institut(s)

Délégation(s)

Thématiques scientifiques

CNRS Images,

Nous mettons en images les recherches scientifiques pour contribuer à une meilleure compréhension du monde, éveiller la curiosité et susciter l'émerveillement de tous.