Année de production
2009
© Emmanuel PERRIN/LAAS/CNRS Images
Référence
20090001_0503
Plateforme micro et nanotechnologies : équipement multichambre robotisé de dépôts de films minces so
Plateforme micro et nanotechnologies : équipement multichambre robotisé de dépôts de films minces sous vide. Un substrat de silicium a été introduit dans le sas de chargement de l'équipement. Tout l'équipement est sous vide secondaire. A l'intérieur des cinq chambres sont réalisés divers dépôts de matériaux ultrapurs pour la réalisation de composants microélectroniques, optoélectroniques, de micro et nanosystèmes.
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