Rapport de deux spectres IR afin de vérifier le retour aux conditions initiales du réacteur et de la cellule de White

Rapport de deux spectres infrarouges (IR), à l'écran, pris successivement afin de vérifier si la cellule de white et le réacteur de la plateforme d'analyse FTIR des plasmas, sont revenus à leur conditions initiales : même valeur de vide, pas de pollution des miroirs ou des hublots... La plateforme est composée d'un réacteur plasma associé à une cellule de "White" et d'un spectromètre FTIR. Elle permet de déterminer le type d'espèces moléculaires créées suite à la dissociation des molécules complexes (notamment de types organométalliques, organosiliciées, hydrocarbonées) injectées dans le plasma. Ces molécules sont utilisées pour réaliser des couches minces nanocomposites. Ainsi, la connaissance des mécanismes de dissociation de grosses molécules et des mécanismes de formation des nouvelles espèces, en fonction des conditions plasmas (pression, mélange gazeux, puissance injectée...), permet par la suite de proposer des chemins réactionnels qui mènent à la formation des couches et à leurs propriétés finales, optiques, mécaniques ou électroniques par exemple, et donc de contrôler le procédé.