Production year
2019
© Frédéric MALIGNE / LAPLACE / CNRS Images
20210117_0006
Réglage des paramètres de chacune des étapes successives de dépôts et/ ou traitements du substrat d'un réacteur plasma microonde (2,45 GHz). Les sources utilisées sont des "applicateurs" ou "antennes" microondes dipolaires disposés en matrice (ici au nombre de 12). Ce type de dispositif fonctionne sur le principe de la résonance cyclotronique électronique, qui combine l'action d'un rayonnement électromagnétique à 2,45 GHz et celle d'un champs magnétique statique produit par des aimants en samarium-cobalt (SmCo). Chaque antenne produit ainsi son propre volume de plasma et l'ensemble permet de créer un plasma de grand volume (en fonction du nombre d'antennes mises en œuvre). Cela permet donc de traiter des surfaces planes ou des pièces 3D de divers types à basse température. Ici, il s'agit de l'élaboration de couches minces par plasma microonde très basse pression à partir de molécules complexes (notamment de types organométalliques, organosiliciées, hydrocarbonées) sur des matériaux tels que le silicium ou des polymères.
The use of media visible on the CNRS Images Platform can be granted on request. Any reproduction or representation is forbidden without prior authorization from CNRS Images (except for resources under Creative Commons license).
No modification of an image may be made without the prior consent of CNRS Images.
No use of an image for advertising purposes or distribution to a third party may be made without the prior agreement of CNRS Images.
For more information, please consult our general conditions
2019
Our work is guided by the way scientists question the world around them and we translate their research into images to help people to understand the world better and to awaken their curiosity and wonderment.