Réacteur et les deux bras de la cellule de "White" au sein de la plateforme d'analyse FTIR des plasmas

Réacteur (au centre) et les deux bras de la cellule multipassage, dite de "white", de part et d'autre du réacteur. Ces appareils font partie de la plateforme d'analyse FTIR des plasmas. Cette plateforme est composée d'un réacteur plasma associé à une cellule de "White", et d'un spectromètre FTIR. Elle permet de déterminer le type d'espèces moléculaires créées suite à la dissociation des molécules complexes (notamment de types organométalliques, organosiliciées, hydrocarbonées) injectées dans le plasma. Ces molécules sont utilisées pour réaliser des couches minces nanocomposites. Ainsi, la connaissance des mécanismes de dissociation de grosses molécules et des mécanismes de formation des nouvelles espèces, en fonction des conditions plasmas (pression, mélange gazeux, puissance injectée...), permet par la suite de proposer des chemins réactionnels qui mènent à la formation des couches et à leurs propriétés finales, optiques, mécaniques ou électroniques par exemple, et donc de contrôler le procédé.