Opérateur sur l'ordinateur de gestion du réacteur plasma de la plateforme d'analyse FTIR des plasmas

Opérateur en action sur l'ordinateur de gestion du réacteur plasma de la plateforme d'analyse FTIR des plasmas. Il règle notamment les paramètres de puissance microonde injectée dans le réacteur, la pression totale, le débit des gaz précurseurs, la durée. Cette plateforme est composée d'un réacteur plasma associé à une cellule multipassage, dite de "White" vue ici de côté, et d'un spectromètre FTIR. Elle permet de déterminer le type d'espèces moléculaires créées suite à la dissociation des molécules complexes (de types organométalliques, organosiliciées, hydrocarbonées…) injectées dans le plasma. Ces molécules sont utilisées pour réaliser des couches minces nanocomposites. Ainsi, la connaissance des mécanismes de dissociation de grosses molécules et des mécanismes de formation des nouvelles espèces, en fonction des conditions plasmas (pression, mélange gazeux, puissance injectée...), permet par la suite de proposer des chemins réactionnels qui mènent à la formation des couches et à leurs propriétés finales, optiques, mécaniques ou électroniques par exemple, et donc de contrôler le procédé.