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20210117_0002

© Frédéric MALIGNE / LAPLACE / CNRS Images

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Vue interne du miroir dit "de front" d'une cellule de White multipassage où est matérialisé un faisceau infrarouge

Vue interne du miroir dit "de front" d'une cellule de White multipassage où est matérialisé un faisceau infrarouge (IR), par des spots laser visible (laser hélium-néon rouge). Ici, 84 passage du faisceau IR dans le plasma. Cette cellule multipassage, dite de "White", est associée à un réacteur plasma et avec un spectromètre FTIR, ils composent la plateforme d'analyse FTIR des plasmas. Cette plateforme permet de déterminer le type d'espèces moléculaires créées suite à la dissociation des molécules complexes (notamment de types organométalliques, organosiliciées, hydrocarbonées) injectées dans le plasma. Ces molécules sont utilisées pour réaliser des couches minces nanocomposites. Ainsi, la connaissance des mécanismes de dissociation de grosses molécules et des mécanismes de formation des nouvelles espèces, en fonction des conditions plasmas (pression, mélange gazeux, puissance injectée...), permet par la suite de proposer des chemins réactionnels qui mènent à la formation des couches et à leurs propriétés finales, optiques, mécaniques ou électroniques par exemple, et donc de contrôler le procédé.

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