Vue de profil, en microscopie électronique à balayage (MEB), de la partie supérieure d'un micropilie

Vue de profil, en microscopie électronique à balayage (MEB), de la partie supérieure d'un micropilier de silicium, obtenu en usinant un substrat de silicium par un procédé de gravure profonde. La face plane supérieure montre des taches sombres, qui correspondent à des gouttes d'or. La rugosité observée sur les côtés des micropiliers provient de l'alternance de cycles d'attaque et de passivation du silicium.