20120001_0080

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20120001_0080

Vue de dessus, en microscopie électronique à balayage (MEB), d'un réseau de micropiliers de silicium

Vue de dessus, en microscopie électronique à balayage (MEB), d'un réseau de micropiliers de silicium, obtenus en usinant un substrat de silicium par un procédé de gravure profonde. La surface comporte plusieurs zones avec un espacement variable entre les piliers.

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