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Reference
20120001_0080
Vue de dessus, en microscopie électronique à balayage (MEB), d'un réseau de micropiliers de silicium
Vue de dessus, en microscopie électronique à balayage (MEB), d'un réseau de micropiliers de silicium, obtenus en usinant un substrat de silicium par un procédé de gravure profonde. La surface comporte plusieurs zones avec un espacement variable entre les piliers.
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