Préparation d'un échantillon ultramince par faisceau d'ions focalisés

Préparation d'un échantillon ultramince par faisceau d'ions focalisés, sur le microscope Scios à doubles faisceaux Thermo Fischer, de la plateforme NANOTEM du C2N (Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies). Ce microscope est équipé d'une colonne électronique et d'une colonne ionique permettant une vue stéréoscopique lors la préparation. NANOTEM est la plateforme de microscopie électronique de l'Equipex TEMPOS (Transmission Electron Microscopy at Palaiseau, Orsay et Saclay). Elle regroupe deux microscopes de dernière génération : Scios, un microscope à doubles faisceaux (ionique et électronique) dédié à la préparation d'échantillons ultra-minces par usinage ionique, pour les observations ultérieures en microscopie électronique en transmission, et un microscope TEM/STEM Titan Themis 200 équipé d'un correcteur d'aberrations sphériques, d'un système d'analyse de spectroscopie X à grand angle de détection et d'une caméra ultra-sensible. NANOTEM permet aux laboratoires académiques et industriels partenaires de l'Equipex TEMPOS de mener des études structurales et chimiques à l'échelle atomique par microscopie électronique en transmission.