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Référence
20120001_0073
Alignement de micropiliers de silicium obtenus par gravure profonde d'un substrat de silicium. De mi
Alignement de micropiliers de silicium obtenus par gravure profonde d'un substrat de silicium. De minuscules gouttes d'or au contraste sombre sont visibles à la surface des micropiliers. Image obtenue par microscopie électronique à balayage (MEB).
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