Observation d'un échantillon dans le microscope électronique Titan Themis Thermo Fischer

Observation d'un échantillon contenant une hétérostructure à base de cristal de semiconducteur arséniure de gallium (GaAs) dans le microscope électronique Titan Themis Thermo Fischer de la plateforme NANOTEM du C2N (Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies). L'analyse chimique par spectroscopie X, réalisée au sein du microscope Titan Themis, permet de différencier les colonnes d'atomes de gallium (en rouge) des colonnes d'atomes d'arsenic (en vert). NANOTEM est la plateforme de microscopie électronique de l'Equipex TEMPOS (Transmission Electron Microscopy at Palaiseau, Orsay et Saclay). Elle regroupe deux microscopes de dernière génération : Scios, un microscope à doubles faisceaux (ionique et électronique) dédié à la préparation d'échantillons ultra-minces par usinage ionique, pour les observations ultérieures en microscopie électronique en transmission, et un microscope TEM/STEM Titan Themis 200 équipé d'un correcteur d'aberrations sphériques, d'un système d'analyse de spectroscopie X à grand angle de détection et d'une caméra ultra-sensible. NANOTEM permet aux laboratoires académiques et industriels partenaires de l'Equipex TEMPOS de mener des études structurales et chimiques à l'échelle atomique par microscopie électronique en transmission.