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Référence
20120001_0088
Vue en microscopie électronique à balayage (MEB), d'un champ de micropiliers de silicium alignés, ob
Vue en microscopie électronique à balayage (MEB), d'un champ de micropiliers de silicium alignés, obtenus en usinant un substrat de silicium par un procédé de gravure profonde.
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