Pointes de silicium obtenues après dépôt de "masques", plots circulaires de nickel, sur une surface

Pointes de silicium obtenues après dépôt de "masques", plots circulaires de nickel, sur une surface de silicium monocristallin, puis creusées selon un procédé de gravure ionique réactive isotrope. Ces micromachines ou Mems (Micro-Electro-Mechanical Systems) sont des composants électroniques très rapides qui comportent au moins un élément mobile ou vibrant. Cela leur permet d'agir directement sur la lumière, une onde électromagnétique ou une faible masse. Intégrés à l'électronique, ils permettent d'économiser de l'énergie et de réduire la surface de ce composant dans les téléphones portables.