Montage d'une couche mince en épitaxie sur un monocristal dans la chambre goniométrique de SAFIR (Sy

Montage d'une couche mince en épitaxie sur un monocristal dans la chambre goniométrique de SAFIR (Système d'Analyse par Faisceau d'Ions Rapides) pour des études de sa structure et composition par canalisation d'ions rapides. La chambre fait partie d'une suite de 5 sur SAFIR dédié à l'analyse par faisceau d'ions rapides pour des études en sciences de matériaux, physique de la matière condensée et géophysique. Cette installation permet de comprendre les liens entre mécanismes de formation, structure, défauts, composition et propriétés physiques de couches mince et ultra-minces. Applications en microélectronique, optronique, spintronique, corrosion/passivation et géophysique.