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Référence
20110001_0956
Chargement de plaquettes dans un équipement de délaquage de résines photosensibles par plasma oxygèn
Chargement de plaquettes dans un équipement de délaquage de résines photosensibles par plasma oxygène. Les microcomposants sont réalisés par un empilement de couches de divers matériaux. Chaque couche est mise en forme par des techniques de lithographie, dépôts et gravure. Ces recherches sont effectuées au sein d'une plateforme de micro et nanotechnologies appartenant au réseau Renatech.
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