Bâti d'épitaxie par jets moléculaires, équipement sous ultravide dans lequel on fait croître des mat

Bâti d'épitaxie par jets moléculaires, équipement sous ultravide dans lequel on fait croître des matériaux, en contrôlant la composition de chaque couche atomique. Les microcomposants sont réalisés par un empilement de couches de divers matériaux. Chaque couche est mise en forme par des techniques de lithographie, dépôts et gravure. Ces recherches sont effectuées au sein d'une plateforme de micro et nanotechnologies appartenant au réseau Renatech.