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20150001_1379

© Nicolas ZWARG/EUJO-LIMMS/CNRS Images

Reference

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Salle blanche où sont effectuées les oxydations thermiques

Vue de la salle blanche du Pr. Hiroyuki Fujita (IIS-UTokyo) où sont effectuées les oxydations thermiques des microsystèmes (MEMS). Au 1er plan, la machine de gravure par plasma DRIE (STS), au fond, l'hôte de chimie.

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