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Référence
20150001_1379
Salle blanche où sont effectuées les oxydations thermiques
Vue de la salle blanche du Pr. Hiroyuki Fujita (IIS-UTokyo) où sont effectuées les oxydations thermiques des microsystèmes (MEMS). Au 1er plan, la machine de gravure par plasma DRIE (STS), au fond, l'hôte de chimie.
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