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Reference
20150001_1376
Echantillons de microsystèmes (MEMS) posés sur une plaquette en silicium et sur un support en quartz
Echantillons de microsystèmes (MEMS) posés sur une plaquette en silicium et sur un support en quartz, après oxydation thermique. Le composant final est une pincette en silicium utilisée pour des applications en biologie.
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