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Reference
20110001_0947
En haut à gauche, un substrat de silicium vierge. Au centre, un substrat sur lequel ont été réalisée
En haut à gauche, un substrat de silicium vierge. Au centre, un substrat sur lequel ont été réalisées diverses étapes du processus de fabrication. Les microcomposants sont réalisés par un empilement de couches de divers matériaux. Chaque couche est mise en forme par des techniques de lithographie, dépôts et gravure. Divers substrats sont utilisés (silicium, nitrure de gallium, diamant...). Ces recherches sont effectuées au sein d'une plateforme de micro et nanotechnologies appartenant au réseau Renatech.
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