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Reference
20120001_1805
Dual Beam, bâti composé de deux faisceaux : un microscope électronique à balayage (MEB) et un focuse
Dual Beam, bâti composé de deux faisceaux : un microscope électronique à balayage (MEB) et un focused ion beam (FIB) ou faisceau d'ions focalisé. Il permet de réaliser des images et de graver la matière à haute résolution, les résolutions respectives étant 1 nm et 4 nm. Les principales applications sont la caractérisation haute résolution d'échantillons et la gravure localisée, notamment pour des applications en nanophotonique. Qu'il soit placé derrière une paroi en plastique et sous un plafond soufflant permet de garantir localement un faible niveau d'empoussièrement (classe 1000).
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