20230113_0008

© Sylvia MATZEN / C2N / CNRS Images

Référence

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Salle blanche au C2N

Bâtis de dépôt par ablation laser pulsé, pour la croissance de couches minces cristallines d'oxydes servant à la fabrication de micro-dispositifs, dans la salle blanche du Centre de nanosciences et de nanotechnologies (C2N). Les scientifiques spécialisés en microélectronique travaillent sur la miniaturisation des dispositifs électroniques et la réduction de leur consommation d’énergie. Ils réalisent des dispositifs de taille micrométrique formés par un empilement de matériaux en films minces de quelques dizaines de nanomètres d’épaisseur. La structure cristalline des matériaux leur confère de nombreuses fonctionnalités, telle que la ferroélectricité. Dans les matériaux ferroélectriques, on peut par exemple renverser la polarisation électrique, ce qui permet de stocker des informations à l’échelle nanométrique. On peut aussi exploiter leur capacité à se déformer pour réaliser des microphones, des capteurs ou des micro-générateurs pour la récupération d’énergie. La fabrication de ces micro-dispositifs est réalisée en conditions contrôlées afin de garantir la haute qualité des matériaux et leurs performances.

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