Chambre de croissance de films minces (environ 200nm) nanocomposites, c'est-à-dire une matrice diéle

Chambre de croissance de films minces (environ 200nm) nanocomposites, c'est-à-dire une matrice diélectrique contenant des inclusions de taille nanométrique. La croissance s'effectue par évaporation par canon à électron de sources solides. Les vapeurs créées se condensent sur le substrat et forment le film. La chambre de croissance est équipée d'un ellipsomètre spectroscopique qui permet de faire des mesures rapides en cours de croissance (environ 1 seconde par spectre) dans la gamme des longueurs d'ondes 0.25/0.8 µm. Le suivi optique permet de comprendre et de maîtriser la formation des films nanocomposites.