© Jérôme CHATIN/CNRS Images
Référence
20030001_1420
Les micropousseurs sont conçus par des techniques de microfabrication en salle blanche. C'est une él
Les micropousseurs sont conçus par des techniques de microfabrication en salle blanche. C'est une électrodéposition de nickel sur une couche d'or, puis de titane pulvérisée sur un wafer de 2.5 pouces. Les micropousseurs ont des formes essentiellement cylindriques et cubiques avec des dimensions allant de 10 à 400 micromètres (µm) de diamètre ou de côté pour une épaisseur d'environ 5 micromètres.
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